配备激光功率自动补偿功能
可用于玻璃晶圆打孔和玻璃切割
配备Bessel光学计(轴棱镜),沿光束进行方向跟随长焦深(DOF)实现恒定峰值功率, 范围通常为0.5~2.0mm
具有振镜自动校正功能和自动偏移补偿功能
一般光斑大小是2~3um
Equipped with laser power automatic compensation function